膜片閥將介質(zhì)與大氣隔開。其優(yōu)點是密封性好，可靠，死區(qū)小，其死區(qū)體積不到相同口徑波紋管閥的一半。易于排除痕量殘留氣體；閥頭與閥座間無相對摩擦，不會有金屬粒子落入介質(zhì)中。可以同時滿足高壓、真空、高低溫的綜合性能。膜片式截止閥工作壓力可達(dá)21MPa，適用溫度-54～316℃，漏氣速率1.33×10-7Pa·L/s。可供高純氣體系統(tǒng)用。
　　
　　膜片閥的工作原理是由與手輪一起轉(zhuǎn)動的閥桿將閥頭壓下，使閥關(guān)閉。靠彈簧和氣壓將閥頭抬起，使閥開啟，膜片將介質(zhì)與大氣隔開。其優(yōu)點是密封性好，可靠，死區(qū)小，其死區(qū)體積不到相同口徑波紋管閥的一半。易于排除痕量殘留氣體；閥頭與閥座間無相對摩擦，不會有金屬粒子落入介質(zhì)中，具有可以同時滿足高壓，真空，高低溫的綜合性能。膜片或截止閥工作壓力可達(dá)21MPa，適用溫度-54～316℃，漏氣速率1。33×10-7PaLs。
　　
　　膜片閥的優(yōu)點是密封性好，可靠，死區(qū)小，其死區(qū)體積不到相同口徑波紋管閥的一半。易于排除痕量殘留氣體；閥頭與閥座間無相對摩擦，不會有金屬粒子落入介質(zhì)中，可以同時滿足高壓、真空、高低溫的綜合性能。



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